අර්ධ සන්නායක (FAB) පිරිසිදු කාමරයක සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවයේ ඉලක්කගත අගය ආසන්න වශයෙන් 30 සිට 50% දක්වා වන අතර, ලිතෝග්‍රැෆි කලාපයේ වැනි ±1% ක පටු ආන්තික දෝෂයකට ඉඩ සලසයි - නැතහොත් දුර පාරජම්බුල සැකසුම් (DUV) කලාපයේ ඊටත් වඩා අඩුය - වෙනත් තැන්වල එය ±5% දක්වා ලිහිල් කළ හැකිය.
සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය පිරිසිදු කාමරවල සමස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය අඩු කළ හැකි සාධක පරාසයක් ඇති බැවින්, ඒවා අතර:
1. බැක්ටීරියා වර්ධනය;
2. කාර්ය මණ්ඩලය සඳහා කාමර උෂ්ණත්ව සුවපහසු පරාසය;
3. විද්‍යුත් ස්ථිතික ආරෝපණය දිස්වේ;
4. ලෝහ විඛාදනය;
5. ජල වාෂ්ප ඝනීභවනය;
6. ලිතෝග්‍රැෆි පිරිහීම;
7. ජල අවශෝෂණය.
බැක්ටීරියා සහ අනෙකුත් ජීව විද්‍යාත්මක අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය (පුස්, වෛරස්, දිලීර, මයිටාවන්) 60% ට වැඩි සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය සහිත පරිසරවල වර්ධනය විය හැකිය. සමහර බැක්ටීරියා ප්‍රජාවන්ට 30% ට වැඩි සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවයකදී වර්ධනය විය හැකිය. ආර්ද්‍රතාවය 40% සිට 60% දක්වා පරාසයක පාලනය කළ යුතු බව සමාගම විශ්වාස කරන අතර එමඟින් බැක්ටීරියා සහ ශ්වසන ආසාදනවල බලපෑම අවම කළ හැකිය.
40% සිට 60% දක්වා පරාසයක සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය ද මිනිස් සුවපහසුව සඳහා මධ්‍යස්ථ පරාසයකි. අධික ආර්ද්‍රතාවය මිනිසුන්ට හුස්ම හිරවීමක් ඇති කළ හැකි අතර, 30% ට අඩු ආර්ද්‍රතාවය මිනිසුන්ට වියළි බවක්, සම ඉරිතැලීම්, ශ්වසන අපහසුතාවයක් සහ චිත්තවේගීය අසතුටක් ඇති කළ හැකිය.
ඉහළ ආර්ද්‍රතාවය ඇත්ත වශයෙන්ම පිරිසිදු කාමර මතුපිට විද්‍යුත් ස්ථිතික ආරෝපණ සමුච්චය වීම අඩු කරයි - එය අපේක්ෂිත ප්‍රතිඵලයකි. අඩු ආර්ද්‍රතාවය ආරෝපණ සමුච්චය කිරීම සඳහා සහ විද්‍යුත් ස්ථිතික විසර්ජනයේ විභව හානිකර ප්‍රභවයක් සඳහා කදිම වේ. සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 50% ඉක්මවන විට, විද්‍යුත් ස්ථිතික ආරෝපණ වේගයෙන් විසුරුවා හැරීමට පටන් ගනී, නමුත් සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 30% ට වඩා අඩු වූ විට, ඒවා පරිවාරකයක් හෝ භූගත නොකළ මතුපිටක් මත දිගු කාලයක් පැවතිය හැකිය.
35% ත් 40% ත් අතර සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය සතුටුදායක සම්මුතියක් ලෙස භාවිතා කළ හැකි අතර, අර්ධ සන්නායක පිරිසිදු කාමර සාමාන්‍යයෙන් විද්‍යුත් ස්ථිතික ආරෝපණ සමුච්චය වීම සීමා කිරීම සඳහා අමතර පාලනයන් භාවිතා කරයි.
සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය වැඩි වීමත් සමඟ විඛාදන ක්‍රියාවලීන් ඇතුළු බොහෝ රසායනික ප්‍රතික්‍රියා වල වේගය වැඩි වේ. පිරිසිදු කාමරය වටා වාතයට නිරාවරණය වන සියලුම පෘෂ්ඨයන් වේගවත් වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-15-2024
මුල් පිටුව
නිෂ්පාදන
අපව අමතන්න
පුවත්