අර්ධ සන්නායක (FAB) පිරිසිදු කාමරයක සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවයේ ඉලක්ක අගය ආසන්න වශයෙන් 30 සිට 50% දක්වා වන අතර, ලිතෝග්රැෆි කලාපයේ වැනි ± 1% ක පටු ආන්තික දෝෂයකට ඉඩ සලසයි - හෝ දුර පාරජම්බුල සැකසුම් (DUV) වලදී ඊටත් වඩා අඩුය. කලාපය - වෙනත් තැනක එය ± 5% දක්වා ලිහිල් කළ හැක.
සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය පිරිසිදු කාමරවල සමස්ත කාර්ය සාධනය අඩු කළ හැකි සාධක පරාසයක් ඇති නිසා, ඇතුළුව:
1. බැක්ටීරියා වර්ධනය;
2. කාර්ය මණ්ඩලය සඳහා කාමර උෂ්ණත්ව සුවපහසු පරාසය;
3. විද්යුත්ස්ථිති ආරෝපණය දිස්වේ;
4. ෙලෝහ විඛාදන;
5. ජල වාෂ්ප ඝනීභවනය;
6. ලිතෝග්රැෆි පිරිහීම;
7. ජල අවශෝෂණය.
බැක්ටීරියා සහ අනෙකුත් ජීව විද්යාත්මක අපවිත්ර ද්රව්ය (පුස්, වෛරස්, දිලීර, මයිටාවන්) 60% ට වඩා සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය සහිත පරිසරයක වර්ධනය විය හැක. සමහර බැක්ටීරියා ප්රජාවන් 30% ට වැඩි සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවයකදී වර්ධනය විය හැක. 40% සිට 60% දක්වා පරාසයක ආර්ද්රතාවය පාලනය කළ යුතු බව සමාගම විශ්වාස කරන අතර එමඟින් බැක්ටීරියා සහ ශ්වසන ආසාදනවල බලපෑම අවම කළ හැකිය.
40% සිට 60% දක්වා පරාසයක සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය ද මානව සුවපහසුව සඳහා මධ්යස්ථ පරාසයකි. අධික ආර්ද්රතාවය මිනිසුන්ට පිරුණු බවක් දැනිය හැකි අතර, 30% ට අඩු ආර්ද්රතාවය මිනිසුන්ට වියලි, සමේ ඉරිතැලීම්, ශ්වසන අපහසුතා සහ චිත්තවේගීය අසතුට ඇති කරයි.
ඉහළ ආර්ද්රතාවය ඇත්ත වශයෙන්ම පිරිසිදු කාමර මතුපිට විද්යුත් ස්ථිතික ආරෝපණ සමුච්චය වීම අඩු කරයි - අපේක්ෂිත ප්රති result ලය. අඩු ආර්ද්රතාවය ආරෝපණ සමුච්චය සඳහා වඩාත් සුදුසු වන අතර විද්යුත් ස්ථිතික විසර්ජනයට හානි කළ හැකි ප්රභවයකි. සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය 50% ඉක්මවන විට, විද්යුත් ස්ථිතික ආරෝපණ වේගයෙන් විසුරුවා හැරීමට පටන් ගනී, නමුත් සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය 30% ට වඩා අඩු වූ විට, ඒවා පරිවාරකයක් හෝ භූගත නොවන මතුපිටක් මත දිගු කාලයක් පැවතිය හැකිය.
35% සහ 40% අතර සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය සතුටුදායක සම්මුතියක් ලෙස භාවිතා කළ හැකි අතර අර්ධ සන්නායක පිරිසිදු කාමර සාමාන්යයෙන් විද්යුත් ස්ථිතික ආරෝපණ සමුච්චය වීම සීමා කිරීමට අමතර පාලනයන් භාවිතා කරයි.
සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය වැඩිවීමත් සමඟ විඛාදන ක්රියාවලීන් ඇතුළු බොහෝ රසායනික ප්රතික්රියා වල වේගය වැඩි වේ. පිරිසිදු කාමරය වටා වාතයට නිරාවරණය වන සියලුම පෘෂ්ඨයන් ඉක්මන් වේ.
පසු කාලය: මාර්තු-15-2024